产品概述

塞维欧SEIVIO Vaculub B042 半导体真空润滑脂采用蒸汽压较低的直线分子结构的全氟聚醚油，PTFE稠化，并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。是一种专门为半导体制造设备、高真空环境及洁净室设计的特种润滑剂。在半导体生产过程中，由于涉及极高真空、极高/极低温以及对微小尘埃的“零容忍”，普通润滑油会挥发并污染芯片，因此必须使用这种高性能的合成脂。

产品特性

+ 极低蒸气压（低挥发性）：这是最关键的特性。在真空环境下，普通油脂会迅速挥发成气体，不仅导致润滑失效，还会污染真空腔体和晶圆；

+ 高洁净度（低出气量）：严格控制总质量损失（TML）和可冷凝挥发物（CVCM），确保不会产生冷凝物沉积在精密的光学元件或硅片上；

+ 优异的耐化学性：半导体工艺常涉及蚀刻气体、等离子体和各种化学试剂。这种润滑脂通常采用全氟聚醚（PFPE）基础油，能抵抗强酸、强碱及强氧化剂；

+ 不导电与抗辐射：良好的介电性能，且在离子注入等涉及辐射的工序中不会变质。

应用领域

适用于典型应用场景（半导体核心设备）

真空腔体密封：PVD/CVD 镀膜、刻蚀机、离子注入机、ALD、扩散炉、真空烘箱的法兰、O 型圈、接头、门阀密封；

精密传动润滑：晶圆传输机械手、真空轴承、滚珠丝杠、线性导轨、真空阀门、真空泵、光刻机 / 步进机的运动部件润滑；

光学 / 真空部件：激光设备、真空视窗、光学镜头、舞台灯光等精密真空光学系统。

包装规格

1kg/罐装      订货号 147802

储存运输

应在常温、阴凉、避光处保存，禁止在阳光下直晒，以免油脂分离及分解。在原包装中保质期可达36个月。

使用建议

薄涂原则： 只需要在表面形成一层连续的薄膜即可。过量的油脂可能会被吸入真空泵造成污染，或流进反应瓶影响实验结果。

彻底清洁： 在更换或重新涂抹前，必须用异丙基醇、己烷或专用清洗剂将旧的残余油脂及吸附的灰尘彻底清除。

关于塞维欧®SEIVIO

作为比瑟奴润滑科技®在中国的子品牌，塞维欧致力于为客户提供高品质的半导体真空润滑脂应用解决方案、专业的技术支持与优质的服务。